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真空旋轉涂膜機在選購時需要注意哪些因素?

點擊次數:81 發布時間:2021-08-04
  真空旋轉涂膜機即在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
 
  針對目前旋轉涂膜機市場品牌眾多,良莠不齊現象,筆者結合自己多年從事旋轉涂膜機技術服務的實際經驗。幫助廣大用戶提高辨別能力,為用戶提供了直觀明確的選擇標準。
 
  從其原理來說,我們可以看出選購真空旋轉涂膜機需要注意的幾個細節“
 
  1、 旋轉速度:轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。國產的某些旋轉涂膜機只能提供轉速范圍,并不能**標定實時的轉速。進口的旋轉涂膜機雖然大部分能標定轉速,但是大部分轉速精度沒有國際標準認定。建議購買轉速控制方面有國際認定標準的,比如:美國NIST標準等。
 
  2、 真空吸附系統的構造
 
  真空泵一定要無油的,壓力標定準確,國內生產的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成完全堵塞。用過國產旋轉涂膜機的客戶常常會關心怎么清洗的問題,這一點許多國外的旋轉涂膜機做得不錯,他們有通過聯動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉。
 
  3、 材質的選擇
 
  對于半導體化工行業的應用來說,材質的選擇尤為關鍵,大部分旋轉涂膜機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質,因為這種材質的成本很低,不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較高溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。例如美國等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點。
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